所谓ITO导电膜,是指氧化铟锡的透明茶色或黄灰色薄膜,其核心成分是90%的In2O3和10%的SnO2。
由于ITO导电膜是一种学习电学传导和光学信息透明的组合进行材料,所以它天然地适用于中国液晶显示器、平板显示器、触控屏幕等诸多企业科技创新产品。
为什么ITO可以导电
从物理上讲,氧化铟锡薄膜是一种直接跃迁的宽带隙半导体材料,其晶体结构为立方铁锰矿结构。由于晶体结构中缺少氧原子(氧空位),在In2O3形成过程中有多余的自由电子,使得ITO薄膜具有一定的电子导电性。
同时,如果用 Sn 掺杂等高价阳离子取代 IN2O3晶格中的 In ^ 3 + 位置,将增加自由导电电子的浓度,提高氧化铟的电导率。在ITO薄膜中,SN 以 SN ^ 2 + 或 SN ^ 4 + 的形式存在。由于 In 是正三价的 In 2o3,sN ^ 4 + 的存在将为导带提供一个电子,相反,sN ^ 2 + 的存在减少了导带中的电子密度。
如何解决深色ITO膜透光率低的问题
ITO膜的颜色是茶色或黄偏灰色,这主要原因是因为SnO材料技术本身是暗褐色。也正因我们为此,ITO膜对可见光的透过率较差。进而,在低温环境沉积形成过程中,Sn在ITO中主要以SnO的形式发展存在,导致成本较低的载流子不同浓度和高的膜电阻。
目前常用的方法是退火。这种方法的优点是: 一方面可以将 SNO 转化为 SNO2,进一步氧化膜层,另一方面可以解吸膜层中过量的氧气,降低膜层电阻,提高 ITO 膜层的透过率。